是目前普遍采用的一种局部平坦化技术。是能提供超大规模集成电路制造过程中全面平坦化的一种技术。

huan2024-07-09 6

题目：是目前普遍采用的一种局部平坦化技术。是能提供超大规模集成电路制造过程中全面平坦化的一种技术。

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